物质学院师生共赴上海华力微电子有限公司上《软物质微纳加工》“第一课”

时间:2020-09-17浏览:816设置

9月11日,上海科技大学物质学院全新打造开设的核心课程《软物质微纳加工(含实验)》的首次授课于上海华力微电子有限公司(简称“华力”)进行。这节特殊的“第一课”在华力人力资源总裁王维元的迎接下正式开始:首先,华力资深技术专家、上科大企业导师方精训博士介绍了半导体集成电路科技产业的发展历程和现况;接着,人事部部长吴烨和科长卫洁全程陪同参观了28纳米器件生产线;最后,三位上科大校友和学生进行互动座谈。

物质学院师生与上海华力共影
《软物质微纳加工(含实验)》是上科大物质学院于本学期首次开设的特色课程,其教学目标为利用物质科学和微纳加工的背景知识,全面学习软物质微纳器件的设计、制造和测试,并进行试验。本门课程的“第一课”于华力开设,旨在带领学生深入半导体制造一线,了解产业现状和技术,从而更直观地了解物质科学和微纳制造,以及物质学院相关的科学研究的重要意义,并掌握必备的知识和能力。在首次课堂上,方精训博士总结了半导体集成电路的基本概念、发展过程及未来趋势,从摩尔定律的角度阐述了芯片制造的困难与挑战,并进一步延伸到下一代量子器件、能源器件、生物器件等新的方向。

华力资深技术专家、上科大企业导师方精训博士为同学讲述半导体行业背景及现状
在华力二期的中国最大28nm制程单体洁净厂房中,学生们在华力工作人员的指导下换上特制除静电服进入12英寸集成电路全自动芯片生产线进行了参观。讲解员详细地介绍了芯片的制作工艺、生产环境以及工程师的工作模式,使同学们在近距离接触前沿半导体生产线的同时对生成背后的关键技术产生了浓厚的兴趣。

华力卫洁科长开设课堂小考,学生们踊跃回答

两位授课老师为学生颁发问答优胜奖
在随后的交流会上,学生们观看了华力公司宣传片,了解了公司基本概况、企业的发展形势、成果以及公司的发展规划,感受到了企业文化带来的丰硕成果以及华力公司的人才培养计划。最后,学生与工作人员开展了互动问答,对上科大的建校历史、物质学院的学科发展、以及不久前江校长亲授的《能源科学与技术导论》展开了热烈讨论。在此期间,三位从上科大物质学院毕业入职华力的师兄师姐也参与其中,分享自身经验,并为同学们答疑解惑。

物质学院毕业校友赵明星(前右一,薛加民课题组)、王飞(前中,宁志军课题组)和王晓洁(前左、硅所联培)和大家分享经验。

《软物质微纳加工(含实验)》由王宏达和刘一凡教授共同负责,主要授课对象为研究生;实验课程将在软物质微纳加工实验室展开,物质学院软纳米平台的6位工程师,也一起投入本课程进行辅助教学,全面系统培训学生使用平台的微纳加工设备,完成通过本课程考核的同学,将能够独立展开微纳器件相关的科研工作。


上科大物质学院软纳米平台

上海科技大学物质学院软纳米平台(Soft Matter Nanofab;SMN)是专门为了研发软物质、将新型材料的各种优异性质器件化并且实用化,而创建的一个微纳加工共享平台;本平台全名为:软物质微纳加工实验室(Soft Matter Nanofabrication Laboratory)。

本平台净化室位于物质科学与技术学院(物质学院)7号楼一层南侧,实验室性质为电子厂房洁净室,包含千级和万级两个洁净区域,共占地650平方米;本平台为小规模、高水平微纳加工实验室,主要提供光刻、蚀刻、薄膜、和器件封装/测试等工艺,能够为软物质的研究,提供先进且全面的器件制备能力。
软纳米平台是物质学院四大科研支撑平台之一,也是上海科技大学目前所创建的数个重点资源平台的其中之一。软纳米平台由上海市政府提供建设经费,在上海科技大学相关部门的合作及指导下,由物质学院负责平台规划、筹建、以及运行等相关工作。作为一个大型设备共享的校级平台,本平台不仅对校内全面开放,更将作为校内外合作和业界产品开发的公开交流平台,以实现上海科技大学强调的“推进科技进步、驱动产业发展”创新价值与理念。软纳米平台将致力成为一个集学、研、制、测一体化的科研平台,并作为上海科技大学的科研保障基地之一。

    软纳米平台网页:http://eshare.shanghaitech.edu.cn/spst/rnm/


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